三星发力EUV工艺 向ASML订购15台EUV光刻机

台积电今天宣布将全年的资本开支从110亿美元提升到140-150亿美元，增长了40%左右，希望进一步提升7nm及5nm产能。在这个领域，唯一能跟台积电竞争的就是三星了，但是三星的问题在于进展较慢，现在三星发狠了，传闻称订购了15台EUV光刻机，价值3万亿韩元，约合181亿人民币。

EUV光刻机是7nm及以后节点的重要装备，目前只有荷兰ASML公司能够供应，昨天该公司发布了Q3季度财报，交付了7台EUV光刻机，但当季收获的EUV光刻机订单高达23台，创造了历史记录，显然三星的订单功不可没。

三星的15台EUV光刻机订单量非常大，要知道ASML一年出货的EUV光刻机也不过30台左右，每季度7-8台的样子，所以三星也的订单能占到ASML年度出货量的一半——好在这批订单是分三年交付的，每年大概10台左右。

15台光刻机总价值约为181亿人民币，换算下来每台折合约12亿元，这个价格要比目前的EUV光刻机NEX:3400B/3400C平均单价高出1/3左右，不确定三星是否附加了别的服务，还有一种可能就是三星订购的EUV光刻机包含了未来发展的型号，所以单价会更高。

2018年6月份三星就宣布了量产7nm EUV工艺，但实际上没有大规模量产，在韩国华城的EUV生产线还在建设中，预计2020年才会真正的大规模量产，主要客户除了自家Exynos芯片之外，还有NVIDIA及IBM。